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刻蚀工艺终点检测模块定制加工公开招标公告

刻蚀工艺终点检测模块定制加工公开招标公告

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信息时间:
2025-04-01
招标文件下载
我要报名
一、项目基本情况
1.项目编号/包号:thtc-zh25006/01
2.项目名称:刻蚀工艺终点检测模块定制加工
3.项目预算金额:50.00万元(人民币)。
4.项目最高限价(如有):/万元(人民币)。
5.采购需求:
包号标的名称采购包预算金额
(万元)
数量简要技术需求或服务要求。
01刻蚀工艺终点检测模块定制加工50.001项为满足氧化硅刻蚀工艺的需求,需要在刻蚀设备上定制终点检测模块,并增加对应硬件驱动以及相应的软件适配。最终实现设备自动控制刻蚀工艺作业时间,精确控制刻蚀深度,确保不同晶圆或不同批次之间的一致性,提高刻蚀工艺稳定性。

6.合同履行期限:自合同生效日起至本次加工服务完成止。
7.本项目不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;
2.本项目的特定资格要求:
1)通过“信用中国”网站(******)和中国政府采购网(******)查询信用记录(截止时点为投标截止时间),对近三年内列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商,没有资格参加本项目的采购活动;
2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动。
三、获取招标文件
1.时间:2025年04月02日至2025年04月09日,每天上午9:00至12:00,下午13:00至17:00(北京时间,法定节假日除外)。
2.地点:北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦b座922。
3.方式:本项目报名采取电子邮件方式报名。凡有意获取招标文件的投标人,请提供下列有效证件获取招标文件或进一步索取详细信息。如为法定代表人报名请提供法定代表人身份证明文件原件及身份证明文件复印件并加盖公章;如为被授权人报名须提供法定代表人授权委托书原件、被授权人身份证明文件复印件并加盖公章。请将上述文件扫描件、标书费汇款底单、采购文件获取登记表(可编辑版)******。招标文件售后不退。
4.售价:500元。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
投标截止时间、开标时间:2025年04月25日09时30分(北京时间)。
******有限公司会议室(北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦b座922)。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1.发布公告的媒介:中国招标投标公告服务平台。
2.评标方法和标准:综合评分法。
3.投标保证金、标书款收受人信息:
******有限公司
******银行北京西城支行
标书款、投标保证金账号:************76。
七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称:北京智慧能源研究院
地址:/
联系方式:李老师010-******
2.采购代理机构信息
******有限公司
地址:北京市东城区东四十条甲22号南新仓商务大厦b座922
联系方式:王静、王雪梅、陈洁、刘戈010-****** ******
3.项目联系方式
项目联系人:王静、王雪梅、陈洁、刘戈
电话:010-****** ******
邮箱:******
查看项目详细信息

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